대만 TSMC "생산재개 시도…EUV 손상 無·설비 복구율 70%"

7.2 강진에 대피한 공장직원 복귀…3나노 양산 '18공장'도 타격
생산설비, 진동에 극도로 민감…"최첨단 반도체 손상됐을 수도"