KAIST·버클리대 연구진, 특수전자소자 측정 시 오차 원인 규명

미래 반도체 소재 나노 분석 정확도 획기적 향상 기대

일반적인 환경과 물 제어 환경에서의 압전반응력현미경 이미징 결과.(KAIST 제공)/뉴스1
일반적인 환경과 물 제어 환경에서의 압전반응력현미경 이미징 결과.(KAIST 제공)/뉴스1

왼쪽부터 KAIST 신소재공학과 홍승범 교수, 엄성문 박사과정, 김연규 박사과정.
왼쪽부터 KAIST 신소재공학과 홍승범 교수, 엄성문 박사과정, 김연규 박사과정.

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