연구 성과가 표지논문으로 실린 국제학술지. (기계연 제공)/뉴스1한국기계연구원 자율제조연구소 반도체장비연구센터 김형우 선임연구원(공동교신저자)(왼쪽부터), 성균관대 기계공학부 김태성 교수(공동교신저자), 성균관대학교 석현호 연구원(제1 저자). /뉴스1관련 키워드한국기계연구원KIMM기계연 김형우 선임AI반도체반도체반도체 웨이퍼김태진 기자 서천군 '2024년 충남도 공매대행 경진대회' 최우수기관 선정서천군 '2024년 정부혁신 우수부서' 3개 과 선정
