(광주=뉴스1) 조영석 기자 = 반도체 공정 기술이 빠르게 발전하는 가운데 반도체 소자 제조 과정을 정확히 이해하는 데 필수적인 시뮬레이션 기법을 소개하는 책이 출간됐다.
광주과학기술원(GIST)은 전기전자컴퓨터공학과 홍성민 교수가 대학 출판부 '지스트 프레스'를 통해 신간 '계산전자공학 입문 - 반도체 공정'을 출간했다고 27일 밝혔다.
총 8장으로 구성된 이 책은 반도체 공정 시뮬레이션의 기본 개념부터 실제 CMOS 공정 응용까지 폭넓게 다루고 있다.
또 반도체 공정의 핵심 기술인 산화 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정, 박막 증착 공정, 식각 공정 등의 원리를 설명하고 이를 컴퓨터 시뮬레이션을 활용하여 분석하는 방법을 제시했다.
홍성민 교수는 국제학술지 'IEEE Transactions on Electron Devices'의 부편집장으로 활동하고 있다.
홍 교수는 "반도체 공정 시뮬레이션을 이해하고 활용하는 데 필요한 핵심 개념을 설명하고, 실습 예제를 통해 독자들이 직접 경험할 수 있도록 구성했다"며 "반도체 공정 시뮬레이션을 처음 접하는 학생은 물론 실무에서 상용 프로그램을 활용하는 엔지니어들에게도 큰 도움이 될 것"이라고 말했다.
kanjoys@news1.kr
