(서울=뉴스1) 강태우 기자 = 3일 오전 대만 동부 화롄현 앞바다에서 발생한 규모 7.2의 강진으로 중국 남부 지역에서도 지진이 감지된 가운데 삼성전자와 SK하이닉스의 중국 팹(공장)에는 큰 문제가 발생하지 않은 것으로 알려졌다.
이날 업계에 따르면 세계 최대 파운드리(반도체 위탁생산) 업체인 대만 TSMC와 대만 2위 파운드리 업체 UMC는 지진 발생 직후 직원을 대피시키고 일부 생산라인 가동을 멈췄다.
특히 강진의 영향으로 TSMC는 12인치 팹의 가동을 중단했으며 일부 웨이퍼 손상도 발생한 것으로 전해졌다. 또 주난에 위치한 파워반도체, 이노룩스 등 대만 반도체 업체들은 공장을 폐쇄 조치했다.
지진의 여파로 중국과 일본, 필리핀에서는 쓰나미 경보가 발령되기도 했다. 다만 중국에서 반도체 공장을 가동 중인 국내 기업들에는 큰 영향은 없는 것으로 확인됐다.
삼성전자(005930)는 현재 중국 시안(낸드플래시)과 쑤저우(패키징) 공장을, SK하이닉스(000660)는 중국 우시(D램), 다롄(낸드플래시), 충칭(패키징) 공장을 운영 중이다.
삼성전자와 SK하이닉스 측은 "(대만에서 발생한 지진으로 인한) 중국 공장에 영향은 전혀 없으며 국내 공장도 마찬가지다"라고 공식 입장을 밝혔다.
특히 반도체 공정에 필수 장비인 DUV(심자외선)와 EUV(극자외선) 노광장비의 경우 미세한 진동에도 매우 예민하다. 삼성전자와 SK하이닉스에서는 지진 발생 시 곧장 장비 상태를 점검하게 되어있는데 이날도 상태 점검에 나선 것으로 알려졌다.
한편 TSMC는 로이터, 블룸버그 등 외신을 통해 "예방 조치로서 일부 제조 장비를 중단했다"며 "TSMC의 안전 시스템은 현재 정상적으로 작동 중"이라고 전했다.
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