세계적 반도체 장비 업체 도쿄일렉트론, 용인에 연구동·팹 건립

(용인=뉴스1) 김평석 기자 = 세계적 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL) 한국법인이 경기 용인특례시에 투자한다.

또 국내 굴지의 반도체 검사장비업체인 ㈜고영테크놀로지 본사가 서울에서 용인으로 이전한다.

시는 이동·남사읍 첨단 시스템반도체 국가산업단지와 원삼면 용인반도체클러스터가 조성되며 용인이 반도체 중심도시로 자리매김하고 있는 상황이 이들 두 기업의 투자 결정에 결정적 영향을 준 것으로 보고 있다.

7일 용인시에 따르면 도쿄일렉트론코리아는 지난달 27일 원삼일반산업단지 입주를 위해 산업시설용지 4블록 2만7032㎡에 대한 업종 변경을 시에 신청했다.

도쿄일렉트론코리아는 R&D센터를 건립하기 위해 지난 1월 이 토지를 매입했으며, 산업단지계획이 변경되면 연구동과 팹(Fab)을 건립할 계획이다.

도쿄일렉트론은 미국의 어플라이드머터리얼즈나 램리서치, 네덜란드의 ASML 등과 함께 세계적인 반도체 장비업체로 꼽히고 있다. 지난해 기준 매출액 규모로 세계 4위, 특허 보유로는 세계 1위 회사다.

이 회사의 국내 현지법인인 도쿄일렉트론코리아는 화성시에 본사를 두고 있다. 지난 2022회계연도에 1조4033억원의 매출액을 기록했다. 직원은 1938명이다.

도쿄일렉트론코리아가 입주할 원삼일반산단 규모는 10만8919㎡다. 인근에 용인반도체클러스터가 조성되면서 반도체 장비업체인 에스티아이와 반도체 소자 업체인 나녹스 등이 이곳에 입주했다.

국내 굴지의 반도체 검사장비 업체인 ㈜고영테크놀로지는 서울 본사와 지주회사를 수지구 상현동 고영테크놀로지R&D센터로 통합·이전한다.

용인시는 관내 반도체기업 현황 파악 차원에서 지난 2월 ㈜고영테크놀로지를 방문는데 회사 측이 본사와 R&D센터를 통합할 의지가 있다고 밝히면서 이전이 확정됐다.

시는 회사가 올해 하반기 안으로 이주를 완료할 수 있도록 필요한 행정절차를 지원할 계획이다.

㈜고영테크놀로지는 반도체 어드밴스드 패키징 검사장비 전문업체로 알려져 있다. 최근에는 의료용 로봇 부문에서도 괄목할 만한 성과를 내고 있다.

한편, 반도체·디스플레이 장비업체 ㈜애플티는 처인구 모현읍 2632㎡ 부지에 연면적 1710㎡ 규모 신축공장을 오는 8월 준공한다. ㈜애플티는 지난해 193억원의 매출을 올린 강소기업이다. 최근 포스텍 나노융합기술원에 반도체 핵심장비인 포트레지스트 도포용 트랙(track) 장비를 설치하기로 하는 등 기술력을 인정받고 있다.

원삼면 용인반도체클러스터 협력화단지에는 분양 대상 37개 필지 중 31개 필지에 원익IPS 등 29개 기업이 입주하겠다며 협약을 체결했다. 이동·남사 첨단 시스템반도체 국가산단 인근의 용인테크노밸리에는 반도체 핵심 소재인 EUV 블랭크 마스크와 펠리클 부문에서 세계적 기술을 보유한 에스앤에스텍이 오는 7월께 신규공장을 준공할 예정이다.

이상일 용인특례시장은 “지난해 세계적 반도체 장비회사 램리서치 한국 본사가 용인으로 이전하기로 했고, 삼성전자 협력업체인 반도체 장비 세계 6위 회사인 ㈜세메스가 용인 기흥에 대규모 투자를 하기로 했다. 여기에 더해 세계 4대 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론 한국법인까지 투자를 결정해 반도체 중심도시 용인의 위상은 더욱 높아지게 됐다”며 “훌륭한 반도체 기업들의 용인 입주를 장려하는 정책을 지속적으로 펴나갈 것“이라고 말했다.

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