가우스랩스, 반도체 공정 AI 검증 기술 레벨업…SK하이닉스 식각 적용

(서울=뉴스1) 한재준 기자 = SK하이닉스(000660)가 투자한 산업용 인공지능(AI) 기업 가우스랩스는 AI 기반의 반도체 공정 검증 설루션 '판옵테스(Panoptes) VM' 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.

Panoptes VM은 장비에 설치된 센서로 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 설루션이다. 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결괏값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다. 계측은 반도체 소자의 물리적·전기적 특성이 생산 공정별로 제대로 충족됐는지 측정하는 작업이다.

가우스랩스는 "이번에 출시한 Panoptes VM 2.0은 신규 모델링 기능을 적용해 기존 버전 대비 예측 정확도와 사용성을 크게 개선했다"며 "산업용 AI 기술 혁신을 통해 산업 현장에서 공정 전반의 혁신을 주도하겠다"고 밝혔다.

가우스랩스는 지난 2022년 Panoptes VM 1.0을 출시했으며 SK하이닉스는 이를 반도체 양산 팹 박막 증착 공정에 적용했다. Panoptes VM으로 가상 계측한 결괏값을 APC(장비의 최적 공정 조건을 찾아주는 설루션)와 연동해 공정 산포(품질 변동 크기)를 약 29% 개선했고 수율(양품 비율) 또한 향상했다.

SK하이닉스는 Panoptes VM 2.0을 식각(반도체 회로 패턴을 만드는 것) 공정까지 확대 적용할 계획이다. 가우스랩스는 멀티 스텝 모델링 기능을 이번 설루션에 추가해 가상 계측 정확도를 높였다.

hanantway@news1.kr